Glossary of Wafer Map Terms - 晶圆图术语表

一、Wafer(晶圆)

用于制造芯片(Die)的圆形晶圆的直径通常为 200 毫米或 300 毫米。在晶圆上切割出一个平面(flat)或一个小凹口(notch),以便在每个加工步骤中将其对准可重复的方向。晶圆图必须告知用户平面或凹口的位置。

平面位置要么标记为底部、左侧、顶部、右侧,要么以度数表示:0、90、180、270。遗憾的是,在使用度数时,某些地图格式对于 0 度是在顶部还是底部并不一致。


二、Binning(分箱)

分箱是将一个箱码分配给晶圆上的每个器件的过程。器件可能经过光学检查和/或电气测试。有些器件被完全拒绝。通过测试的器件可能会根据电气测试被分配等级。

蓝色:Null Bin 空箱;青色:Edge Bin (or Skip) 边缘箱(或跳过);洋红色:good/pass 良好/通过;黄色:fail 失败

  • bin code - 指定的字符或数字。有些地图使用单个 ASCII 字符;其他地图可能使用十六进制值(即 FF),其他地图可能使用单个数字或 3 位数字的 bin 标签。

  • null bin - 由于阵列是矩形的,而晶圆是圆形的,因此为了跟踪正确的位置,使用空箱代码分配空位置或空位置。这通常是点字符;对于 SINF,空代码是两个连续的下划线 __。某些类型的地图编码不需要空箱代码。

  • reference bin - 参考芯片(也称为校准芯片)是晶圆加工机器用来与晶圆图正确校准的芯片。它可能是也可能不是“好”芯片。通常它在视觉上是不同的(因此不是“好”芯片)。

两个参考设备(黑色):左上和右下

  • mirror bin - 镜面芯片具有高反射性 - 设备能够从整个晶圆视图中找到镜面芯片。镜面芯片通常放置在参考芯片旁边。

  • ugly bin - 丑陋的芯片通常不完整,因为它在加工过程中受损,或者位于被截断的区域。

  • edge bin - 边缘芯片是位于晶圆外围的芯片,由于边缘附近的处理不一致而被拒绝。

  • fail bin - 任何被归类为失败的芯片将不会被“挑选”进行进一步处理。

  • pass bin - 已经过测试且符合规格的芯片 - 将被挑选。

  • first die -一些地图标识了“第一个”芯片 - 即第一个被探测的芯片 - 无论它是好是坏。

  • skip die - 出于某种原因,探测机被指示跳过此芯片的测试。某些地图可能会为 SKIP 芯片分配与 NULL 芯片相同的 bin 代码。


三、Map(地图)

  • map overlay - SEMI E142 中使用的术语,指与基板/布局相关的 bin 代码阵列。E142 允许将多个地图“叠加”在单个基板上。例如,如果执行了多个测试,则每个测试的结果可以记录在单独的地图中。但是我们很少遇到这种情况,目前不支持它。

  • array dimension - 地图数组的 X 和 Y 维度。这包括空骰子位置。不要将此处的维度与物理长度混淆——它是数组的大小(仅正整数)

  • rows - 数组中水平行的数量。

  • columns - 数组中的垂直列数

  • origin location - 数组计数开始的 4 个可能角之一。按象限 (I、II、III、IV) 或名称标记:UpperLeft、LowerLeft、UpperRight、LowerRight
  • axis direction - 数组索引在 X 和 Y 方向上增加的方向。通常,如果原点在 LowerLeft,则轴在 UpRight。但是,没有什么可以阻止不同的轴方向(这通常会导致负索引值)。

Reference Coordinates - 地图文件通常会通过数组位置(即 REF1: 129,26)来说明参考设备的位置(或位置)。需要知道原点位置和轴方向才能真正找到参考芯片。还需要知道索引计数是从 0 还是 1 开始。(大多数地图从 0 开始,但我们见过的一些地图从 1 开始。至少有一个地图既不是从 0 也不是从 1 开始,而是将 0 设置为参考芯片的位置。)


四、Die Size and Stepping(芯片尺寸和步进)

  • Die Size - 晶圆上芯片的 X 和 Y 尺寸。
  • Step Size - 芯片上同一点与相邻芯片上点之间的距离;通常称为间距。这通常大于器件尺寸 - 对于大多数晶圆图用户来说,这是他们感兴趣的数字。
  • Street Width - 相邻芯片边缘之间的间隙。它用于计算用于切割芯片的锯的宽度。此信息通常对使用芯片图的设备无用。步长 - 芯片尺寸 = 街道尺寸。

五、Identification(身份证明)

LotID - 晶圆通常以批次形式制造 - 通常每批次最多 25 片晶圆。Lot ID 是晶圆厂分配给批次的编号或字符串。它通常蚀刻在晶圆上,以便人和机器可以读取。


晶圆 ID 刻在晶圆的边缘区域。您还可以看到缺口。

  • Wafer ID - 同一批次中的每个晶圆都分配有一个唯一的编号或字符串。该编号或字符串也会蚀刻在晶圆上。

  • Device ID - 一识别跨晶圆的设备。

  • Product ID - 通常与设备 ID 互换使用。

参考文献

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