实质性程序包括实质性分析程序和细节测试。
实质性分析程序的本质还是分析程序，即根据财务数据之间以及财务数据和非财务数据之间的内在关系进行分析，并得到分析结论，主要目的是提供方向性指导作用。
细节测试是对各类交易、账户余额、列报的具体细节进行测试，目的在于直接识别财务报表认定是否存在错报。
实质性分析程序不仅仅是细节测试的一种补充，在某些审计领域，如果重大错报风险较低且数据之间具有稳定的预期关系，可以单独使用实质性分析程序获取充分适当的审计证据。
实质性分析程序不是必须执行的程序，但是细节测试是必须执行的程序。