电子半导体洁净室建设施工要点全攻略

洁净室是半导体生产的关键,其施工质量直接影响产品品质与生产效率。合景净化工程公司从多维度解析施工要点,确保洁净室达到预期要求。

施工环境管控贯穿全程。开工前清理施工现场,消除杂物与灰尘;施工时设置围挡隔绝外界污染,对材料存放、加工区重点防尘,限制人员出入并要求穿戴洁净装备。

材料选择遵循易清洁、不产尘、耐腐蚀原则。墙面和天花板常用彩钢板或不锈钢板;地面选用防静电环氧树脂自流平或 PVC卷材,兼具防静电、耐磨易洁特性;门窗采用密封材质减少空气渗漏。

空气净化系统安装需严格按设计布局风口,保障气流均匀,按序安装初、中、高效过滤器,特别注意高效/超高效过滤器的密封,定期检测更换。

防静电措施不可或缺。采用防静电地面、墙面材料,设备接地达标,施工人员穿戴防静电装备,操作工具亦为防静电产品,设置手环佩戴点释放人体静电。

温湿度控制依赖可靠系统。安装空调、加湿、除湿设备,合理布置传感器,实时监测并自动调节,将温度控制在22±1℃,相对湿度保持在45%±5%。

施工全程严格监督,按标准检验材料与设备安装质量,建立质量追溯体系。完工后全面验收,委托专业机构检测空气洁净度、温湿度等指标,合格后方可投入使用。

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