中微公司CEO尹志尧先生，作为被誉为“中国蚀刻机之父”的杰出人物，近期宣布了一项振奋人心的消息：“国产半导体刻蚀机核心部件，今年将实现100%自主可控。”这一里程碑式的成就，不仅标志着中微公司在半导体设备领域取得了重大突破，也为中国半导体产业的自主可控之路树立了新的里程碑。
尹志尧先生，1944年出生于北京，拥有中国科学技术大学化学物理系的学术背景，并在加利福尼亚大学洛杉矶分校获得物理化学博士学位。他曾在多家国际知名的半导体公司担任要职，包括英特尔、泛林半导体和应用材料公司等等，并帮助这些外国公司积累了86项美国专利和200多项国际专利。
后来他直接放弃美国的高薪待遇，毅然回国，于2004年创立了中微半导体设备（上海）有限公司，致力于推动中国半导体设备的自主研发与产业化。那时整个团队才15个人，在过去的二十年里，尹志尧先生和他的团队不懈努力，从零开始，逐步攻克了半导体刻蚀机领域的多项关键技术难题，仅用了3年时间就开发出了中国首台高端刻蚀设备，效率比同类产品高出30%以上，为中国半导体产业的发展做出了巨大贡献。
刻蚀机作为半导体制造中的核心设备之一，其性能直接影响到芯片的质量和产量。长期以来，国内半导体产业在高端刻蚀机领域一直依赖进口，这不仅增加了生产成本，也制约了产业的自主可控能力。尹志尧先生深知这一点，他带领团队坚持自主创新，不断突破技术瓶颈，逐步实现了刻蚀机核心部件的国产化。
据尹志尧先生介绍，中微公司经过多年的技术积累和研发投入，已经成功掌握了刻蚀机核心部件的关键技术，并实现了从微米到纳米，甚至皮米级别的精细加工能力。目前，中微公司的刻蚀机技术已经达到了全球先进水平，能够覆盖从微米到纳米级别的多种加工需求，其客户包括台积电、中芯国际等国际顶级晶圆厂。
截至2024年6月，中微公司累计申请专利已达2648项，目前已实现3nm芯片的刻蚀机，客户包含台积电、中芯等国际顶级晶圆厂。
今年，中微公司更是实现了刻蚀机核心部件的100%自主可控，这一成就不仅意味着中微公司在技术上的全面突破，也为中国半导体产业的自主可控之路奠定了坚实的基础。尹志尧先生表示，这一成就的取得离不开团队的努力和国家的支持，同时也离不开产业链上下游企业的协同合作。
展望未来，尹志尧先生对中微公司和中国半导体产业的发展充满信心。他认为，在接下来的五至十年内，中国半导体产业有望达到国际最先进水平，并在全球半导体市场中占据重要地位。同时，他也表示，中微公司将继续坚持自主创新，不断推出更多具有自主知识产权的半导体设备，为中国半导体产业的自主可控之路贡献更多力量。
总之，尹志尧先生宣布的“国产半导体刻蚀机核心部件，今年100%自主可控”的消息，不仅是中国半导体产业的一个重要里程碑，也是中微公司发展历程中的一个重要节点。这一成就的取得，将为中国半导体产业的自主可控之路注入新的动力，也将为中微公司的未来发展奠定更加坚实的基础。
