在半导体产业蓬勃发展的当下，净化工程的装修直接影响到半导体生产环境的洁净度、稳定性以及产品的质量与良率。本文是合景净化工程公司整理的详细半导体净化工程装修规划设计指南。
与半导体生产企业深入沟通，全面了解其生产工艺特点、设备布局、生产规模以及对洁净环境等级的具体要求。例如，芯片制造前端的光刻环节，可能需要极高的洁净度，达到ISO1级甚至更高标准，而一些后端的封装测试工序，相对洁净度要求会稍低一些，但也有严格规范。分析未来产能扩充的可能性，以便在设计之初就预留一定的弹性空间，避免后续频繁改造带来的成本增加和对生产的干扰。
半导体净化工程选址应尽量避开周边有较多污染源的区域，像交通主干道旁灰尘大、化工企业附近有化学污染排放等地方都不合适。建筑结构方面，要确保其具备良好的密封性，减少外界空气的渗漏。墙体、天花板等应采用坚固且平整的材料，便于后续的净化装饰施工以及维持洁净环境的稳定。
根据不同生产工序对洁净度的要求，精准划分洁净区域。一般采用由高到低的梯度布局，从超净间到一般洁净区再到普通生产区逐步过渡。不同区域之间设置气闸室、传递窗等隔离设施，有效防止交叉污染。在超净间与相邻洁净区之间设置风淋室，人员进入超净间时通过风淋去除身上携带的尘埃颗粒，保障超净间的高洁净状态。
半导体净化工程装修电气系统要满足生产设备的用电负荷需求，并且具备良好的稳定性和安全性，设置备用电源以应对突发停电情况，避免对正在进行的精密生产工序造成损害。考虑到半导体对静电极为敏感，防静电措施必须到位。从地面采用防静电地板，到人员穿戴防静电工作服、鞋套，再到设备的接地等都要严格规范，防止静电积聚对半导体元件造成击穿等破坏。
车间内给排水系统要合理规划，避免出现积水、漏水等情况影响洁净环境。消防系统则要在满足消防安全要求的同时，选用不会对洁净环境造成污染的灭火介质，比如气体灭火系统在很多半导体净化工程中应用广泛，确保在紧急情况下能迅速灭火又不破坏昂贵的生产设备和洁净空间。
