睿能·非衡_系列
正负不对称双极性脉冲电源
PPS±feih
精准调控等离子体·赋能尖端薄膜工艺
1. 产品概述
正负不对称双极性脉冲电源PPS±feih苏州永创智能科技有限公司开发生产。睿能·非衡系列电源专为高级镀膜工艺而设计的高精度、高性能电源解决方案。
正负不对称双极性脉冲电源PPS±feih它创新性地采用了双极性不对称输出设计，可独立产生+1200V/选配2000V的正脉冲与-900V/选配1500V的负脉冲，并能在10kHz至50kHz的高频范围内进行精确的脉冲调制。通过独立控制正负脉冲的宽度与频率，该电源能实现对等离子体环境的精准塑造，显著提升薄膜的附着力、致密性与综合性能，是追求卓越镀膜质量的用户的理想选择。
正负不对称双极性脉冲电源PPS±feih苏州永创智能科技有限公司开发生产。
2. 产品特点
①核心双极不对称输出
独立电压控制：正极性输出高达 +1200V，负极性输出达 -900V，这种独特的电压不对称性，能为工艺过程提供更优化的能量输入。
协同占空比调节：正脉冲占空比（80%~100%）与负脉冲占空比（20%~0%）协同可调，实现对离子轰击与沉积过程的独立精细控制，从而优化薄膜生长动力学。
② 高频精密脉冲调制
宽频可调：工作频率在 10kHz ~ 50kHz 范围内可数字设置，满足不同工艺阶段对脉冲频率的多样化需求。
高精度输出： 输出电流 0~1A 可调，确保在复杂工艺条件下仍能提供稳定、纯净的脉冲波形。
③卓越的可靠性与稳定性
软启动技术：内置先进的软启动电路，有效抑制开机瞬间的电压电流冲击，保护电源本身及后端昂贵的镀膜设备。
严格过冲控制：输出电压过冲被严格控制在极低水平，确保工艺重复性和膜层质量的一致性，保护基片与靶材。
④智能化与可视化操作
数字设置与监控：所有关键参数（电压、频率、占空比）均可通过前面板数字设置，并实时显示工作状态，操作直观简便。
3. 典型应用
① 高级真空镀膜
PVD（物理气相沉积）：如磁控溅射、电弧离子镀等工艺中，作为基体偏压电源，用于精确控制离子对基片的轰击能量与方向。
制备高性能薄膜：如类金刚石薄膜（DLC）、氮化钛薄膜（TiN）、氧化铝薄膜等硬质、耐磨、防腐涂层。
② 表面工程与改性
等离子体浸没离子注入与沉积。
材料表面清洗与活化处理。
③ 前沿科研领域
等离子体物理、新材料合成等需要对等离子体参数进行精密调控的科学研究。
4. 参数规格
序 项目........................要求
1. 输出电压....................正极性+1200V
输出电压....................负极性-900V
2. 输出电流.....................0~1A
3. 频率........................10kHz~50kHz可设置
4. 占空比......................PWM1(正脉冲)占空比80~100%
5. 占空比......................PWM2(负脉冲)占空比20~0%
6. 注意事项1...................电源的电压电流数据采用485传输
7. 注意事项2...................PWM1和PWM2是互补的关系，
8. 注意事项3...................PWM1和PWM2的占空比设置要加入死区(固定值或百分比，当频率高的时候固定值合适点)
正负不对称双极性脉冲电源PPS±feih苏州永创智能科技有限公司开发生产。波形如下
