光芯片及其生产制造

姓名:刘昊楠  学号:22009100217

学院:海棠三号书院

随着集成电路的不断发展,传统的电子集成电路在带宽与能耗等方面逐渐接近极限。随着电子电路集成度的不断提高,金属导线变得越来越细,导线之间的间距不断缩小,一方面使得导线的电阻和其欧姆损耗不断增大,使得系统能耗不断增加;另一方面会造成金属导线间的电容增大,引起导线之间的串扰加大,进而影响芯片的高频性能。而光芯片以光为信息载体,通过对光的处理和测量实现几十Tb/s的信息传送速率,实现低交换延迟和高传输带宽,实现多路同时通信,同时具有超低能耗表现。因其具有速度快、稳定性高、工艺精度要求低和可多维度复用等优势,有望打破电芯片的发展禁锢,为芯片发展带来新的契机。

按照功能划分,光芯片可分为激光器和探测器两大类。激光器内的光芯片在发射端进行电光转换,将电信号转换为光信号,按出光结构进一步分为面发射芯片和边发射芯片,主要包括VCSEL(垂直腔面反射激光器)、FP(法布里-珀罗激光器)、DFB(分布反馈式激光器)、EML(电吸收调制激光器);探测器内的光芯片在接收端进行光电转换,将光信号转换为电信号,主要包括非放大的PIN(二级管探测器)和包含放大的APD(雪崩二级管探测器)。

从芯片生产制造角度来看,光芯片制备的工艺流程与集成电路芯片有一定相似性但侧重点不同,光芯片的生产工序依序为 MOCVD外延生长、光栅工艺、光波导制作、金属化工艺、端面镀膜、自动化芯片测试、芯片高频测试、可靠性测试验证等,其制备流程同样包含了外延、光刻、刻蚀、芯片封测等环节。但就侧重点而言,光刻是集成电路芯片最重要的工艺环节,直接决定了芯片的制程以及性能水平。与集成电路芯片不同,光芯片对制程要求相对不高,外延设计及制造才是核心,工艺水平直接决定了成本的性能指标和可靠性。以激光器芯片为例,外延工艺决定了输出光特性以及光电转化效率。目前使用的激光器芯片多采用多量子阱结构,多量子阱结构实际上是由厚度在纳米尺度的不同薄层材料构成的重复单元,通过对多量子阱精细结构的调节可以使激光器工作在不同的波长之下,进而满足不同的应用需求。

由于光芯片处在产业链上游,会牵扯出复杂的原材料问题。区别于电芯片相对单一的材料体系,光芯片可通过硅系、玻璃、聚合物、二维材料、Ⅲ-Ⅴ族半导体等多种材料平台实现。主要以砷化镓(GaAs)和磷化铟(InP)为代表的Ⅲ-Ⅴ族材料为衬底,通过内部能级跃迁过程伴随的光子的产生和吸收,进而实现光电信号的相互转换。除此之外,制造过程中还会用到电子特气、光刻胶、湿电子化学品等原材料。因此,光芯片需依据拟适配的器件类型、功能方向和应用场景来选择材料体系。从市场规模和产业落地情况看,Ⅲ-Ⅴ族光子集成体系、硅基光子集成体系和平面光波导(PLC)光子集成体系将在未来的光芯片产业中具有较高的经济价值。

Ⅲ-Ⅴ族光子集成体系起步较早、潜力较大,但进一步发展仍有问题待研究解决。Ⅲ-Ⅴ族光子集成体系是以磷、铟、砷、镓等Ⅲ-Ⅴ主族元素材料为主体的集成技术体系。依托原子直接带隙的物理优势,Ⅲ-Ⅴ族元素材料可兼容无源和有源光器件,成为理想的光学集成体系。该体系研究起步较早,成熟度相对较高,在传输、感知、显示等应用领域已占据市场主导地位。当前,Ⅲ-Ⅴ族光芯片正向小型化、兼容化、多功能化的方向发展。但是,受晶圆尺寸和加工制备等因素限制,系统进一步提高集成度在技术研究和加工工艺方面仍有问题待研究解决。

硅基光子集成体系发展势头迅猛,向大规模集成和光电融合方向发展。未来三年,硅光芯片将是光通信的一大趋势。但硅基发光一直是巨大难题,因此一般都是以硅材料为基底,引入多种材料实现发光,分为SOI、SiN、Ⅲ-Ⅴ族、硅衬底上铌酸锂薄膜四种制造平台。复杂的材料学问题引发更多技术难题,诸如硅光耦合工艺,晶圆自动测试及切割等设计挑战。另外,受制于产业链、工业水平限制,硅光芯片还没有在产能、成本、良率上凸显优势。不过硅光芯片的颠覆性引发了研究热潮,技术日趋成熟,即将进入规模化商用阶段。

 PLC光子集成体系发展相对成熟,已成为无源光器件及系统的主流技术。PLC光子集成体系是在玻璃、二氧化硅等基板平面上形成光波导,并利用不同光波导结构的组合和排列,实现复用、分光、耦合等功能的无源光学集成系统。当前,PLC光子集成体系因其芯片结构简单、工艺稳定等特点,发展较为成熟,已广泛应用在光通信网络的关键无源器件中。

多维度融合发展成为光芯片提高集成度和系统性能的必然趋势。在器件层面,光芯片的进一步发展应实现有源器件和无源器件的理想匹配;在载体层面,光芯片的进一步发展需要实现光学结构和电学结构的有机结合;在材料层面,光芯片的进一步发展需要实现硅系、Ⅲ-Ⅴ族等多体系的高效兼容。值得注意的是,光芯片的多维融合发展在当前仍面临设计、工艺、封装、测试等方面的多重挑战,亟须相关科研院所及产业链企业的协同创新突破。

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