关于怎么修antenna,其实不用多说了,但是为什么要向上跳线呢,我们知道天线效应的产生粗略的讲就是金属表面积累的电荷过多,我们都知道做mask的时候是从低层往高层做的。每一道工序都有诸如平坦化(会引入静电),隔离等,之后肯定会有静电泄放(离子清洗)的操作。从这个角度来说,假如metal3过大有antena的问题,我们用metal4对其跳线。在做metal3的mask时,metal3实际上分开的,只有做到metal4的时候他们才会连起来,而到metal4时,metal3的表面电荷已经由于工艺过程减少很多了;而如果用metal2对其跳线,在做metal3时,metal2和metal3是会相连的,并没有起到减少电荷的作用。
总结一句话就是底层金属先被制造,比如metal3实际上是分开的,做完后会有泄放电荷(离子清洗)的操作,然后跳线metal4电荷就很少了。向上跳线可以让这一层引入的电荷没那么多,向下跳线金属始终是连在一起的,没办法泄放电荷。
向上跳线是先泄放电荷再连接,向下跳线是先连接再泄放电荷。
还有一种实践方法就是插入反偏二极管,也就是天线二极管;目的之一就是通过二极管的反向漏电流来释放电荷,并且增大了栅极的面积,提高了承受放电电流的能力。