1.渗碳质量优异。表面质量好，真空渗碳表面不氧化、不脱碳，可保持金属本色；真空渗碳不产生内氧化（黑色组织），有助于提高零件的疲劳强度。这些能极大地提高产品的可靠性和使用性能。
2.真空渗碳件变形量小。可减小后期的加工量，节省加工成本。工件加热时，加热的速度可控，可减小工件的变形；渗碳完成后，淬火方式为真空淬火，大幅减小工件的变形。
3.渗碳层深度更均匀。工件加热完成匀温后，才通入渗碳气体，保证了大小工件起始渗碳点的同步性，这是渗碳层均匀的基础，而常规气体渗碳和多用炉难以保证这点。真空对工件表面有净化作用，有利于碳原子被工件吸附，由于渗碳层深度的均匀性好，特别适合于浅层渗碳。
4.表面碳含量易于控制。表面碳含量不必通过碳势控制，通过控制渗碳压力和渗碳气流量即可。
5.可进行高温渗碳。最高渗碳温度可达1050℃，更易于深层渗碳
6.渗碳质量稳定。工艺参数设定以后，整个渗碳过程由微机控制，并记录工艺参数，控制系统能对渗碳工艺进行精确控制，热处理工件有良好的重复性，质量稳定。
7.对于有盲孔、深孔和狭缝的零件或者不锈钢、含硅钢等普通气体渗碳效果不好甚至难以渗碳的零件，真空渗碳可获得良好的渗碳层。
