进口半导体过滤器以超高精度、低释放、耐腐蚀的特性，专为半导体制造高纯气体/液体净化设计，满足光刻、CVD、清洗等工艺需求。相比工业气体过滤器，它精度更高、纯度要求更严；相比白酒过滤器，它针对微量污染物（如金属离子），应用更专业。选型需考虑介质类型、精度和工艺要求。
过滤器主要用于防止或降低腔体产生的杂质污染后部的管道上阀门、真空计等器件。阀门密封圈易粘附颗粒，粘附过度影响阀门的密封性，带来内漏，增大保压的压升数值。电容真空计膜片粘附杂质会导致测得压力偏小。
过滤器的几个重要指标：
1、 过滤精度：以5μm为例，指的是滤芯能滤除99.5%（过滤效率）的粒径5μm以上的杂质。
2、 压差流量特性：滤芯前后压差随着通过滤芯气体流量的减小而减小，它与滤芯结构、流体粘度等因素有关。因此增加滤芯都会一定程度上延长腔体抽到真空底压需要的时间。
3、 纳尘容量：在一定流量和温度条件下，过滤器的压差达到规定的极限值时所能拦截的污染物的总量。纳尘量越大，使用寿命越长、维护周期越长。
分类：
按结构分，滤芯主要分为折叠网式和粉末烧结式，常用不锈钢316、316L材料等制成。
粉末烧结的优点：过滤精度小，能做到1μm以下，纳尘能力大。同一套模具，过滤精度可调，适合大批量生产。缺点：量小造价高，不能清洗，一次性使用，抗压强度小。多用于医药类、特气类。
