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2025-10-28在全球半导体产业不断迈向更先进工艺节点的今天，制造过程中对环境、材料和工艺纯度的要求已经达到了前所未有的高度。据IC Insights数据，20...
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2025-10-08
恒歌超纯气体过滤技术：真空腔体放气的微污染控制方案在半导体制程真空腔体快速放气环节，气流扰动引发的颗粒污染是影响晶圆良率的潜在因素。恒歌扩散器专...
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2025-09-18
一、半导体制造中液体纯度的重要性 半导体工艺的复杂程度远超大多数制造业，其中超纯水（UPW）和高纯化学品（酸、碱、溶剂）几乎贯穿晶圆生产的每一个...
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2025-08-30恒歌一体直通专用过滤器，考虑到不同工艺的设备需求。其融合气体流动与颗粒拦截功能，过滤精度低至 0.003μm，可满足超纯气体系统对颗粒控制的标准...
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2025-08-27
恒歌不锈钢曝气头外螺纹气体扩散器，利用纳米微孔元器件，曝气技术可将各种工艺气体(二氧化碳、氧气、氢气氮气等)高效地引入液体或气体中。通过精确控制...
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2025-08-22恒歌 DF 系列扩散器专用过滤器，考虑到不同工艺的设备需求。其融合气体流动与颗粒拦截功能，过滤精度低至 0.003μm，可满足超纯气体系统对颗粒...
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2025-08-22
恒歌 DF 系列扩散器专用过滤器，各方面表现稳定。滤芯与壳体为 316L 不锈钢，经粉末烧结工艺处理，结构坚固。设计使过滤精度达到 0.003μ...
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2025-08-19恒歌真空过滤器采用卡环与卡套连接方式，简化了安装流程。操作人员无需复杂工具即可完成更换，单套安装时间较传统方式显著缩短。这种设计特别适合半导体产...
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2025-08-19恒歌真空系统气体过滤器采用不锈钢材质打造，其特殊的流道设计能引导气体形成均匀层流。在真空腔体回填环节，这种设计可减少气流扰动，避免腔室内残留颗粒...