2025-10-08

恒歌超纯气体过滤技术：真空腔体放气的微污染控制方案
在半导体制程真空腔体快速放气环节，气流扰动引发的颗粒污染是影响晶圆良率的潜在因素。恒歌扩散器专用过滤器采用全316L不锈钢结构，其材质经过特殊工艺处理，杂质元素含量控制在极低水平，有助于减少材料本身的颗粒释放。该过滤器结合扩散器的气体流动特性，在实现 0.003um 过滤精度的同时，通过结构优化规避湍流产生，降低气流对工艺室环境的干扰。这种设计适用于对洁净度要求严格的微电子制造场景，为真空腔体放气过程提供稳定的过滤支持。