2025-08-19

恒歌真空系统气体过滤器采用不锈钢材质打造，其特殊的流道设计能引导气体形成均匀层流。在真空腔体回填环节，这种设计可减少气流扰动，避免腔室内残留颗粒被扬起。配合真空卡环与卡套结构，过滤器能快速集成到现有系统中，为 CVD、PVD 等设备的真空环境恢复提供稳定支持，有助于维持工艺环境的洁净状态。