2025-08-22

恒歌 DF 系列扩散器专用过滤器，考虑到不同工艺的设备需求。其融合气体流动与颗粒拦截功能，过滤精度低至 0.003μm，可满足超纯气体系统对颗粒控制的标准。整体为 316L 不锈钢构造，在高效过滤的同时，消除湍流带来的隐患，保护工艺室环境。支持定制化设计，能应对紧凑空间和特殊接口情况，提供过滤方面的解决方案。