半导体材料的体单晶生长

  • 体单晶生长方式

垂直生长

水平生长

硅/锗单晶生长

硅/锗的主要物理性质

直拉法

  • 拉单晶工艺
    润晶
    缩颈
    放肩
    等径生长
    收尾
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