惰性气体离子的气种效应

为什么要研究惰性气体离子,用就行了呗,如果是这样就简单了,但是科学家们发现不同原子量的惰性气体离子在溅射靶材时,生长的膜有很大不同,比如在微结构和性质方面,所以就有了对惰性气体研究的必要。

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