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  • 半导体设备中的关键词--真空

    真空,指某一个容器中不含有任何物质(现实生活中并不存在真正的真空),通常我们把低于正常大气压的容器状态就叫做真空状态。绝大多数半导体工艺设备都...

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    晶格,晶体,基元,格点,点阵,原胞被这些词搞晕了,这次要一次解决他们!物理的这些专业词汇

    被这些词搞晕了,这次要一次解决他们 晶格,晶体,基元,格点,点阵,原胞, 首先,晶格和原胞是不同领域里研究固体的不同叫法,仅仅是为了研究方便。至...

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    冷水机中的高压报警和低压报警

    冷水机,半导体工艺设备中常见的设备,即使是测试设备,也常见到冷水机的身影,有时候因为冷媒的不同,也把冷水机叫做chiller,冷水机在使用过程中...

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    再学习-制冷剂(冷媒)工作时的状态变化和制冷原理

    最近遇到一个问题,实验室的中央空调时不时的高压报警,按照以前的处理方法,这是因为室外机的冷凝器散热不好导致的,通常的解决办法是清洗散热器。检查的...

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    等离子体刻蚀机-水路系统

    等离子体刻蚀机中的水路系统,主要是指设备中的冷却水,是给设备中的发热部件进行冷却,防止部件过热保护而不工作。设备中需要冷却的部件主要是真空泵和射...

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    真空系统

    真空系统,主要是能够让腔体产生真空,主要以等离子体刻蚀机为例。 真空系统中的主要部件是机械泵和分子泵,以及真空阀门,结构示意图如下, 其中机械泵...

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    半导体工艺设备之等离子体刻蚀机

    这里主要介绍的等离子体刻蚀机,主要是科研用的,非工厂用,但是原理都是基本相同的。作为设备工程师,这里分享的是按照我的理解。 首先说等离子体刻蚀机...

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    电磁隔膜计量泵

    怎么会想到写这个泵呢? 是因为今天检查纯水系统的时候,接触到一个泵,是用来给纯水系统中加药液的,具体是加NaOH的。为什么接触到这个泵呢,因为泵...

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    XRD X射线衍射技术

    什么是X射线衍射技术,原理是什么,怎么来的,或者叫怎么发现的,能干什么用,怎么用,用的时候有什么注意点。 1. 什么是X射线衍射技术XRD? 利...