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半导体设备中的关键词--真空
真空，指某一个容器中不含有任何物质（现实生活中并不存在真正的真空），通常我们把低于正常大气压的容器状态就叫做真空状态。绝大多数半导体工艺设备都...
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三相电，40A，能接单相电，40A的设备吗
最近，遇到一个问题，空开是三相，额定电流是40A，想在空开下口接一台设备，设备用电是单相，40A。不知道可不可行。如果接单相电，50A可不可行，...
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chiller制冷系统之压缩机
chiller，是许多进口设备配置的制冷机，其制冷原理跟空调类似。 其中压缩机是一个核心部件，之前遇到chiller中的问题，都会首先考虑是不是...
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晶格，晶体，基元，格点，点阵，原胞被这些词搞晕了，这次要一次解决他们！物理的这些专业词汇被这些词搞晕了，这次要一次解决他们 晶格，晶体，基元，格点，点阵，原胞， 首先，晶格和原胞是不同领域里研究固体的不同叫法，仅仅是为了研究方便。至...
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冷水机中的高压报警和低压报警冷水机，半导体工艺设备中常见的设备，即使是测试设备，也常见到冷水机的身影，有时候因为冷媒的不同，也把冷水机叫做chiller，冷水机在使用过程中...
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再学习-制冷剂（冷媒）工作时的状态变化和制冷原理最近遇到一个问题，实验室的中央空调时不时的高压报警，按照以前的处理方法，这是因为室外机的冷凝器散热不好导致的，通常的解决办法是清洗散热器。检查的...
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等离子体刻蚀机-水路系统等离子体刻蚀机中的水路系统，主要是指设备中的冷却水，是给设备中的发热部件进行冷却，防止部件过热保护而不工作。设备中需要冷却的部件主要是真空泵和射...
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真空系统真空系统，主要是能够让腔体产生真空，主要以等离子体刻蚀机为例。 真空系统中的主要部件是机械泵和分子泵，以及真空阀门，结构示意图如下， 其中机械泵...
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半导体工艺设备之等离子体刻蚀机这里主要介绍的等离子体刻蚀机，主要是科研用的，非工厂用，但是原理都是基本相同的。作为设备工程师，这里分享的是按照我的理解。 首先说等离子体刻蚀机...