1. 分子泵控制器报警D11:MAG SUSPENS,D15:W13,D17:W24,D18:Z12,W21:ACT TEMP。
先说结论：自己动手，快速解决了。不用麻烦原厂工程师了，耶耶。
2.问：怎么解决？
答：手册里能查到的是：
（1）D11,机械故障或者电气故障。
D15:W13,D17:W24,D18:Z12这三个是一起的，表示转子位置超过设定值了。
W21:温度报警，指的是控制器内部温度超过出厂设定值了。
（2）手册给的解决方案是：检查转子是否卡住，检查控制器的通风是否正常，如果还有，那就联系售后。
我仔细的研究了手册，也上网查了一些资料，因为分子泵和控制器都是贵重物品，所以一开始检查是要慎重一点，把一些简单的检修步骤先做了，比如拔插控制器和分子泵之间的线缆接头，断电重启等等，一般的故障在断电重启都会先自检，可能故障就消失了。
但是这些都做完之后，还是出现相同的报错信息。
（3）怎么办呢，厂家工程师回复慢，送检周期长，费用高，于是决定自己动手，丰衣足食，自己解决不了，再找厂家。
3. 问：如果没有报错信息，或者没有手册，怎么办？
答：无非就是泵的故障或者控制器的故障。
1. 先检查控制器，由于泵已经安装在了机台上，拆卸很麻烦，所以先检查控制器。
2. 断开控制器和分子泵之间的连线，然后控制器上电，检查是否有报警，如果没有，那么和分子泵连接后出现的错误就是分子泵泵体产生的。如果有报警，那就是控制器有问题，同时不排除分子泵泵体有故障。
3. 控制器有故障，那就打开控制器仔细检查内部电路板是否有异常。
4. 然后检查分子泵泵体，通常可以用内六角扳手检查泵体底部中心的内六角孔，这个孔是内部转子的轴，用扳手拧轴，如果转动的很顺滑，那就说明泵体没有问题，如果有卡顿甚至转不动，那就是泵体有故障，这样检查的费用就很高了，还是交给厂家工程师吧，自己不要动手了。
