全量程真空计,就是能够测量腔室气压从大气压到高真空的压力。 目录 1.故障 2.解决办法 3.真空计结构和原理 3.1 真空计结构 3.2 真空计工作原理 4. 附 4.1 ...
全量程真空计,就是能够测量腔室气压从大气压到高真空的压力。 目录 1.故障 2.解决办法 3.真空计结构和原理 3.1 真空计结构 3.2 真空计工作原理 4. 附 4.1 ...
ACT1300M控制器报警W21:ACT TEMP。 经过检查发现,是控制器内部的散热风扇故障,检查风扇的型号规格,主要是两个参数,电压和功率,然后选择差不太多的就可以,电压...
1. 分子泵控制器报警D11:MAG SUSPENS,D15:W13,D17:W24,D18:Z12,W21:ACT TEMP。 先说结论:自己动手,快速解决了。不用麻烦原厂...
正在学习labview,上次的文章写到窗口置顶函数,实现了窗口置顶,但是又遇到了另一个问题,窗口置顶函数在循环里,运行的时候会死机,尤其是窗口置顶函数的第一个参数设为-1始终...
最近,遇到一个问题,空开是三相,额定电流是40A,想在空开下口接一台设备,设备用电是单相,40A。不知道可不可行。如果接单相电,50A可不可行,有没有知道的朋友,给个答案。
chiller,是许多进口设备配置的制冷机,其制冷原理跟空调类似。 其中压缩机是一个核心部件,之前遇到chiller中的问题,都会首先考虑是不是压缩机出现了问题。对其制冷原理...
被这些词搞晕了,这次要一次解决他们 晶格,晶体,基元,格点,点阵,原胞, 首先,晶格和原胞是不同领域里研究固体的不同叫法,仅仅是为了研究方便。至于二者的相同之处也是有的。 首...
冷水机,半导体工艺设备中常见的设备,即使是测试设备,也常见到冷水机的身影,有时候因为冷媒的不同,也把冷水机叫做chiller,冷水机在使用过程中一旦出现故障报警,通常是高压报...
最近遇到一个问题,实验室的中央空调时不时的高压报警,按照以前的处理方法,这是因为室外机的冷凝器散热不好导致的,通常的解决办法是清洗散热器。检查的时候发现,室外机的冷凝器的散热...
等离子体刻蚀机中的水路系统,主要是指设备中的冷却水,是给设备中的发热部件进行冷却,防止部件过热保护而不工作。设备中需要冷却的部件主要是真空泵和射频电源。 需要冷却的真空泵主要...
真空系统,主要是能够让腔体产生真空,主要以等离子体刻蚀机为例。 真空系统中的主要部件是机械泵和分子泵,以及真空阀门,结构示意图如下, 其中机械泵主要是无油泵,比如爪式泵或者罗...
这里主要介绍的等离子体刻蚀机,主要是科研用的,非工厂用,但是原理都是基本相同的。作为设备工程师,这里分享的是按照我的理解。 首先说等离子体刻蚀机,从网上或者其他资料查到的介绍...
怎么会想到写这个泵呢? 是因为今天检查纯水系统的时候,接触到一个泵,是用来给纯水系统中加药液的,具体是加NaOH的。为什么接触到这个泵呢,因为泵虽然工作,但是出液口不出液了。...
什么是X射线衍射技术,原理是什么,怎么来的,或者叫怎么发现的,能干什么用,怎么用,用的时候有什么注意点。 1. 什么是X射线衍射技术XRD? 利用X射线衍射技术分析物质结构的...
对于半路出家的我来说,有关半导体物理的所有术语都是新鲜的,为什么是新鲜的呢,还是因为我的好奇心!遇到不熟悉的就想搞懂,结果发现一个概念的解释里还有一个概念不懂,再接着看,还是...
温度变送器是把温度传感器接收的温度信号转换成电流或者电压信号输出。 大致的结构图如下: 常见的温度传感器有热电阻和热电偶。 常见的电流信号是4~20mA。 常见的电压信号是0...
今天碰到一个制冷机引起的报警,但是经过检查判断,其根源应该是温度故障引起了互锁反应导致了制冷机停机保护。 温度故障,就是温度变送器故障,导致输出的4-20mA信号异常,然后该...
最近在写论文,要把word格式转为pdf提交。相信大家都比较书写word转pdf的方法,我尝试了三种常用的,但是发现了不同。 word转pdf有三种方法,都是在word里转换...
最近在写论文,要用到一些图,发现origin里画的有些图旁边的空白很多,需要去掉才好看,设置方法如下: 1.选中要去除空白的图,图片设置前,两边有空白。 2.菜单栏里 图/ ...
最近在写论文,发现了这个问题,怎么解决呢,从网上找了一些方法,分享给大家,大家根据自己需要去测试。 方法1:我尝试了几种方法,这个方法是我认为安全系数比较高的,我的英文参考文...