冷水机,半导体工艺设备中常见的设备,即使是测试设备,也常见到冷水机的身影,有时候因为冷媒的不同,也把冷水机叫做chiller,冷水机在使用过程中一旦出现故障报警,通常是高压报警,偶尔会遇到低压报警,下面就分享一下我遇到的高压报警和低压报警的解决办法。
高压报警是什么?高压报警传感器在哪?为什么?怎么办?
低压报警是什么?低压报警传感器在哪?为什么?怎么办?
高压报警和低压报警都是保护压缩机的安全措施。那么这两个报警传感器通常在冷水机的什么位置呢?画图展示一下。

高压报警传感器和低压报警传感器位置示意图
HPG 和 LPG 分别表示高压报警传感器和低压报警传感器。
高压报警是因为冷凝器的热量没有充分传送到空气中,使得冷凝器出口的压力过高。怎么办呢,通常是冷凝器的散热片太脏,需要清洗了。另外一个原因就是室外空气温度过高,流通不畅,致使冷凝器的热量散布出去。
低压报警的原因通常是制冷剂(冷媒)泄露导致的压力不足,需要补充。也可能是蒸发器表面有附着物,影响了散热,只需要清理蒸发器就可以了。