等离子体刻蚀机-水路系统

等离子体刻蚀机中的水路系统，主要是指设备中的冷却水，是给设备中的发热部件进行冷却，防止部件过热保护而不工作。设备中需要冷却的部件主要是真空泵和射频电源。


设备冷却水路示意图

需要冷却的真空泵主要是无油机械泵和分子泵，其中无油机械泵又叫前级泵，其冷却的部件主要是内部的电机和泵体部分。我接触到的用于等离子体刻蚀机中的无油机械泵内部通常是两路水，一路给电机冷却，一路给泵体。而泵体的冷却水路是通常是根据温度控制的。


干泵冷却水路示意图
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