10/9/2021
1. ALD - 原子层沉积
-是一种将物质以单原子膜形式一层一层镀在基底表面的方法。在我们lab中一般是AL2O3,5个cycles,一层铝原子一层氧原子为一个cycle。
-黑色的有手套的那个机器
-设置机器后要等五分钟,等待温度稳定。放半导体进去前需要在小隔离舱中抽空氧气,充满氮气,排出氮气使其真空,5-8次,确保没有氧气和水。打开隔离舱阀门取出半导体后,建议排出氮气使隔离舱真空,保证舱内与外部隔绝。
2.Photoelectric effect 光电效应
-X光照射物体时,达到一定能量eV,射出电子,减去射出电子所需能量后的能量为射出电子的能量。此能量能用来分辨物体上为哪种物质在哪种状态。
-X-ray:X光 Flood:自动补偿原来物体上的电子,保证出来的eV和数量图像不会位移,因为射出电子后物体能量会改变。Ion:补偿离子,用于射出更靠内更靠近源自内核的电子(对比valance shell上的电子最好射出,能量最大。)
3.显微镜
-先要调成vertical lines,用前面的银色旋钮,逆时针,用电脑屏幕上的单个向上三角形聚焦,再用侧边的旋钮调整竖线的宽度,然后在切换显微镜镜头,从10x到50x,旋转他们就可以。
-工艺上PN junction的制作成图,挖的深度决定浓度