半导体洁净室对环境参数要求极高，装修施工验收需严格把控以下关键环节：

按设计洁净等级(如 Class 1、10、100等)，用标准粒子计数器检测，覆盖工作区、回风区等所有区域，确保空态、静态、动态下粒子浓度均达标。检测时需控制温湿度在设计范围，保证采样量充足。

核查材料是否符合要求，墙面、地面等需耐腐蚀、不产尘、易清洁，金属材料防锈到位，非金属材料达标。重点检查密封性，墙体、吊顶等连接及与设备接口处需严密，防止污染物渗入。

确认设备选型符合设计，空调机组参数满足需求。检查安装质量，设备安装牢固密封，风管保温完好，管路布置合理，阀门便于操作。

给排水系统用符合要求的管材，纯水管道选不锈钢且内壁光滑，确保安装严密不漏水，水处理设备运行正常。气体管路按设计选材质和连接方式，高纯度气体用不锈钢管焊接，需做气密性试验，保证气体纯化设备输出纯度达标。

设备选型适应洁净室环境，具备防尘、防潮等特性。线路敷设规范，导线连接牢固，配电箱等安装平整，接地装置符合要求，接地电阻达标。