键合机出现了故障，达到某一真空阈值后，应该purge，但是实际却没有，找到的故障件，外形小巧可爱，一看就知道是真空计，根据之前的经验，如果真空计出现了故障，是很可能出现这样的现象的。
控制阀
不曾想，当根据这个型号去查手册的时候，才知道这家伙不是真空计，而是控制阀门，会根据真空计反馈的信号实时调整阀门开度，有点类似VAT中的蝶阀。而且这家伙个头不大，价格很高。
像开头说的故障现象，需要拆开检查了，到底是内部机械故障还是电路故障。自从独立修好了AE的射频电源后，信心大增，半导体设备的配件故障不在话下了。至于这个部件是什么故障，下周分享，也给自己巩固一下知识。
