流量显示仪

半导体工艺设备中会用到各种各样的气体,包括普气(无毒无害,非易燃易爆)和特气(有毒有害,易燃易爆),这些气体在使用中都会用到流量显示仪,或者质量流量控制器(MFC),质量流量控制器比流量显示仪多了控制功能,稍稍复杂一点。下面是自己对流量显示仪的理解,这些信息是从网上查到的,结合自己的理解,分享给大家,仅作参考,也是帮助自己梳理。

流量显示仪,尤其是气体流量显示仪,顾名思义,就是显示气体流量。这里举一个接触过的流量显示仪分享给大家看看,大致了解一下。

前面板


电源板


信号处理板


LED显示屏驱动板

每块板都有自己的功能,至于每块板的具体电路,因为都是简单的双层板,可以自己手抄板去分析,是需要一些时间的,这里就不赘述了。

分享到这里了,大家有什么补充的放在留言里,我也学习一下。

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