随着半导体器件向微型化、集成化发展，如 MEMS 传感器、微型芯片等微小器件的生产，对气体洁净度的要求更为严苛，微小颗粒可能直接导致器件功能失效。恒歌 TF 系列工艺气体专用过滤器，为这类微小器件生产提供精准洁净保障。
微小器件的结构尺寸常处于微米甚至纳米级别，例如 MEMS 传感器的悬臂梁宽度可能仅为 5μm，任何附着在表面的颗粒都可能影响其力学性能。TF 系列过滤器的高精度过滤能力，可清除 0.05μm 以上的颗粒，确保进入工艺腔室的气体不会引入此类杂质。某 MEMS 企业在生产加速度传感器时，安装 TF 系列后，因颗粒导致的器件失效比例从 12% 降至 3%，产品可靠性显著提升。
恒歌对微小器件生产需求的理解，使其产品能够精准匹配细分领域的洁净要求，成为小众但关键的半导体细分市场的可靠选择。
