过去十年,中国半导体、光伏、新能源产业的高速增长,让“高纯气体”这一曾经隐蔽的技术环节被重新审视。 然而,与晶圆、硅片这些“主角”相比,过滤器、...
一片芯片的诞生,离不开上百种气体的协作。 从氮气、氢气、氩气到硅烷、氨气、氟化物,每一种都需要以极高纯度参与制程。 在制程节点进入3 nm时代后...
在半导体行业,过滤器被称为“无声的守卫者”。 但很多人忽略了:能制造出高精度滤芯,并不代表能验证其性能。 在过去十年,国内外大量厂商宣称自家产品...
在半导体行业中,气体纯度对芯片制造至关重要,任何微小的颗粒或污染物都会影响产品质量。 恒歌不锈钢气体过滤器通过其精准的过滤能力,确保气体纯净,满...
支持来图定制,各种高难度复杂件过滤器定制,微纳米级过滤技术,最高可定制0.003μm精度。 一、7纳米制程气体净化的技术挑战 7纳米芯片制造要求...
在超高纯气体输送系统中,气体纯度直接关系到工艺精度与成品良率。恒歌高压气体过滤器采用316L不锈钢结构,适用于50MPa系统压力环境。其纳米级过...
随着碳化硅器件产能扩张,工艺气体流量需求激增。恒歌IGS面板专用过滤器支持100slpm(标准升/分钟)通量,可满足多腔体CVD设备同步供气需求...
氯气在工业中用于生产化学品、消毒和水处理等多个领域,由于其强腐蚀性,过滤系统对设备的保护至关重要。 恒歌不锈钢气体过滤器,凭借其卓越的耐腐蚀性和...
氨气广泛用于肥料生产、化学合成和制冷系统中,但其在运输和储存过程中可能含有杂质,影响后续的工艺。 恒歌不锈钢气体过滤器通过其精准的过滤能力,确保...