过去十年，中国半导体、光伏、新能源产业的高速增长，让“高纯气体”这一曾经隐蔽的技术环节被重新审视。
然而，与晶圆、硅片这些“主角”相比，过滤器、阀门、接头等零部件长期被忽略。
事实上，在一个12吋晶圆厂中，气体输送系统往往占建设成本的 6%–8%，
而其中的过滤器，是确保气体纯度和系统可靠运行的关键节点。
今天的国产高纯过滤产业，已经不再停留在“可生产”的阶段，而是在迈向一个更复杂的目标——体系化可靠性。
一、国产高纯产业的背景：从代工到自主
中国的高纯过滤技术最初起步于上世纪90年代。
早期市场完全依赖进口品牌（如Pall、Mott、Entegris），其原因并非国内制造能力不足，而是缺乏验证体系与认证数据。
转折点出现在2015年之后。
国家《集成电路产业促进纲要》和《超高纯气体装备标准化路线图》的推动下，国内企业开始从材料、烧结工艺到测试体系全面升级。
根据SEMI China 2024报告：
目前国内高纯气体输送装备自给率已达68%，其中过滤器产品的国产化率接近55%。
这一数字背后，是过去五年间数十家企业在金属粉末烧结、表面处理、以及高压洁净验证上的持续突破。
二、技术演进：从“做得出”到“做得准”
过滤器的核心在于孔径控制。孔径并不是一个静态数字，而是统计分布。
国际标准SEMI F20要求孔径分布标准差控制在10%以内，而国内企业早期普遍在 20%–25%。
恒歌等企业通过真空烧结工艺升级，将孔径偏差降低至8%以下。该工艺通过多层粉体分级叠加，形成均匀的孔道网络，在 9N 级气体过滤中表现出良好的流量稳定性。
在CNAS 实验室的测试中，恒歌 0.003 µm 滤芯在 0.5 bar 压差下的 LRV（对 0.01 µm 颗粒）≥9，且批次差异小于3%。
这种从“物理精度”到“批次一致性”的提升，标志着国产过滤正进入可验证阶段。
三、标准化与检测能力：体系的基石
国产化的真正瓶颈，不在制造，而在验证。
国际上，过滤器性能评估一般遵循以下体系：
· SEMI F20（过滤效率）；
· SEMI E52（压降稳定性与寿命）；
· ISO 8573（气体洁净度）；
· ASTM F795（气体颗粒穿透测试方法）。
然而，国内实验室长期缺乏可与国际接轨的全流程测试平台。
截至2023年，中国仅有 3 家实验室具备 0.003 µm 级颗粒测试能力。
四、产业链协同：从单件制造到系统集成
在高纯气体系统中，过滤器只是众多元件之一。
只有当其与阀门、管件、检测模块共同构成闭环系统时，才能真正实现气体洁净度的长期稳定。
当前国内的趋势是：
上游企业专注粉末冶金、精密焊接等核心工艺；
中游制造商整合气体输送模块（VMB/VMP）；
下游集成商进行整厂气体系统设计。
恒歌在这一体系中承担“核心部件+系统适配”的角色，其过滤器已应用于半导体电子气体、光伏PECVD、锂电干燥氮气等多场景系统。
2024年，其推出的 HF、SF 系列过滤器产品已通过 CNAS 认证，并在多家国内晶圆厂验证通过。
五、国际对比：参数差距与检测差距
虽然国产高纯过滤技术在精度上已接近国际水平，但在“系统验证与数据透明度”上仍存在差距。
对比项国际品牌国产先进企业差距说明
可以看到，技术差距正在缩小，而检测与数据体系成为下一阶段的重点。
六、未来路径：从产品可靠性到系统信任度
未来三年，国产高纯过滤产业的竞争焦点将从“参数”转向“信任”。
国际客户的关注点不再是“过滤精度是多少”，而是“能否提供完整的验证报告与批次一致性数据”。
恒歌等制造商已开始建立以序列号为核心的数字化追溯体系，每支过滤器的烧结温度、孔径分布与压降曲线都被记录，形成“可查询、可复验、可追责”的质量档案。这种体系化升级，将决定国产高纯过滤是否真正能走入全球供应链。
七、结语
国产高纯过滤产业正从“制造产品”向“建立体系”转型。
从孔径分布的控制到检测平台的建设，从批次一致性到数据追溯，每一步都意味着从工艺走向科学的过程。
当国内制造商能够提供透明、可验证、可追溯的过滤解决方案，国产品牌不再只是价格竞争的参与者，而将成为产业链稳定与安全的支撑力量。
恒歌在这条路上的探索，是整个国产高纯制造体系的缩影——稳扎稳打，不以噱头取胜，而以数据赢得信任。
