支持来图定制，各种高难度复杂件过滤器定制，微纳米级过滤技术，最高可定制0.003μm精度。
一、7纳米制程气体净化的技术挑战
7纳米芯片制造要求气体中粒径>5nm的颗粒浓度<0.3个/立方米，相当于在10个标准游泳池中只能存在1粒杂质。
长期以来，被国外系统垄断全球85%市场份额，且维修响应时间超过72小时。
二、国产7纳米过滤器的核心技术突破
1. 梯度孔径不锈钢膜
采用三级梯度过滤结构：
第一级：75nm孔径拦截大颗粒(效率99.98%)
第二级：45nm孔径去除中等微粒(效率99.995%)
第三级：7nm孔径精密截留(效率99.9997%)
相较进口产品的两级过滤(50nm→7nm)，容尘量提升42%，压差增长速率降低35%。
2. 氢退火表面处理
在H₂/N₂混合气氛中进行1200℃退火，使316L不锈钢表面氧化铬层厚度从3.2nm增至5.6nm，耐氯离子腐蚀能力提升至进口产品的1.8倍(实测临界浓度达200ppm)。
3. 智能压差管理系统
配备4-20mA信号输出的无线传感器，可实时监测0.1Pa级压差变化，数据通过OPC UA协议直连工厂MES系统，实现预测性维护。
三、替代进口的经济效益验证
在某大型氮气净化系统改造项目中，国产7纳米过滤器(深圳恒歌)表现如下：
项目总投资回报周期从4.2年缩短至1.8年，晶圆电性参数CPK值从1.2提升至1.6.
