恒歌过滤器优化半导体惰性气体输送系统洁净度

在半导体制造工艺中，惰性气体的纯净度直接影响着晶圆良品率。恒歌IGS过滤器通过三级梯度过滤技术，能有效拦截0.01微米以上的颗粒物，其专利设计的螺旋导流结构使气体通过速度提升30%的同时，压降控制在0.15Bar以内。

为适应不同场景需求，该系列产品提供316L不锈钢与哈氏合金两种材质选项，耐腐蚀性能可应对特殊工艺中可能存在的酸性气体环境。在7nm制程的实测中，配备恒歌过滤器的氩气输送系统使晶圆表面微粒缺陷率降低42%，尤其改善了刻蚀工序中的边缘粗糙度问题。