真空计，又叫真空规。
半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。
是什麽？能做什么？怎么用？
1，是什麽？
真空计，字面意思，计量真空度的仪器。
2，能做什么？
真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。
3，怎么用？
一般就是把真空计的物理接口，KF接口或者是螺纹接口接到腔室上，然后把真空计的电气接口接到电脑或者专用的显示仪表上。这样就可以测量腔室的真空度，也能看到真空度具体的数值了。
4，注意，真空计是有分类的，有的适合测量低真空，也就是压强大一些的；有的适合测量高真空，也就是压强小一些的。
一般常用的是热电偶真空计，皮拉尼真空计，冷阴极真空计，电离真空计。
自己接触过的真空计有电离式，皮拉尼式和冷阴极式真空计。
具体各自的工作原理，大家可以搜一搜，如果需要，我下次补上，一块学习。
