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    光刻技术

    光刻技术 光刻 一种将掩膜版的图形转移到衬底表面的图形复制技术,光刻得到的图形一般作为后续工艺的掩膜。 光刻胶 (光致刻蚀剂)是由高分子聚合物、增感剂、溶剂以及其他添加剂组成...

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