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心芯之火·第十一章 淬火（1）
二零二零年一月，新年的钟声刚敲过，Fab8的无尘车间里就亮起了一盏新的灯。
那是国产光刻机的调试灯。
上海微电子的SSB500系列步进式光刻机，分辨率九十纳米，理论上可以通过多重曝光技术实现二十八纳米甚至更小的节点。但在Fab8的生产线上，这台灰白色的庞然大物像一个水土不服的巨人——从运进来的第一天起，就没有消停过。
第一天，晶圆传输机械臂卡住了。
第三天，对准系统的激光干涉仪读数漂移。
第七天，掩模台的温度控制出了问题，导致曝光图形的位置偏差超过了规格。
陈思远被梁衡之派去和中微的工程师一起调试那台刻蚀机的时候，还觉得那是世界上最痛苦的任务。现在他被派去和上海微电子的工程师一起调试这台光刻机，才知道什么叫真正的痛苦。
“陈工，温度控制的问题找到了，”上海微电子的现场工程师孙浩跑过来，手里拿着一沓数据，脸上挂着两个深不见底的黑眼圈，“是冷却水循环系统的流量传感器精度不够，我们已经在换新的了。”
“换了之后呢？”陈思远问。
“换了之后应该能控在正负零点一度以内。”
“应该？”陈思远的声音拔高了半度，“孙工，梁博士要求正负零点零五度。零点一度差了整整一倍。”
孙浩的脸色垮了下来。“陈工，这个传感器已经是国内能买到的最高精度的了。正负零点零五度，那得用进口的，但进口的现在——”
他没有说下去。两个人都知道他想说什么。进口的现在买不到了。不是因为缺货，是因为美国对华夏芯的潜在制裁让所有美国供应商都暂停了发货，连一颗螺丝钉都不敢卖。
陈思远站在那台灰白色的光刻机旁边，看着它笨重的身躯，忽然觉得它像一个被父母抛弃的孩子——它已经尽力了，但它天生就比别人差，这不是它的错，是这个世界不公平。
他深吸一口气，拿出手机，拨了梁衡之的电话。
“梁博士，光刻机的温度控制问题，国产传感器做不到正负零点零五度，只能做到零点一度。”
电话那头沉默了三秒钟。“零点一度能不能用？”
“能用，但会导致曝光位置偏差扩大一倍。”
“偏差扩大一倍之后，工艺窗口还能不能收住？”
陈思远在脑海里快速跑了一遍模型。曝光位置偏差扩大一倍，意味着对准精度从两纳米恶化到四纳米。四纳米的对准误差，对于十四纳米工艺来说，还在可接受的范围内，但良率可能会掉一个百分点左右。
“能收住，但良率会掉。”
“掉多少？”
“大概一个点。”
“那就用零点一度的。一个点的良率损失，我们通过其他模块补回来。”
陈思远挂了电话，看着孙浩。“孙工，梁博士说了，零点一度的先用着。但你们要继续研发零点零五度的传感器，什么时候做出来，什么时候换上。这是梁博士的原话。”
孙浩用力地点了点头，眼睛里有什么东西在发光。那是一种被信任、被需要、被寄予厚望之后才会有的光。
二零二零年二月，新冠疫情爆发。
上海进入封控状态，张江科学园区的门禁升级到了最高级别，每个进入厂区的人都要测体温、查健康码、登记行程。Fab8的工程师们被分成A/B两组轮班，每组在厂里住两周，换班的时候在外面隔离两周。两周又两周，所有人都被这个节奏推着走，像上了发条的机器。
梁衡之选择留在厂里，不轮换。他说他年纪大了，不想折腾。何瑞华知道真正的原因是——他不想把时间浪费在隔离上。两周的隔离，意味着两周不能进无尘车间，两周不能调参数，两周不能跑实验。对于梁衡之来说，两周的时间够他跑完二十组DOE、解决两个技术难题、把良率往上拉三个百分点。他舍不得。
何瑞华也选择了留在厂里。他的妻子一个人在出租屋里带着三岁的女儿，每天给他发视频，女儿在镜头那头叫“爸爸”，他在镜头这头笑，笑完之后关了视频，套上无尘服，走进黄光里。
有时候他会想，如果当初没有跟着梁衡之来华夏芯，他现在在星辰集团会是什么样子。更高的薪水，更大的房子，更少的加班，更多的陪伴家人的时间。但那个念头只会在最疲惫的时刻一闪而过，然后就被下一个参数优化、下一次实验设计、下一批晶圆测试淹没了。
因为他知道，在星辰集团，他只是一个普通的工程师，做着一份可以被任何人替代的工作。但在华夏芯，他是梁衡之亲手带出来的第一批本土工程师之一，是十四纳米产线上不可或缺的一环，是中国芯片产业从追赶到超越这场大戏中的一个角色。
这种被需要的感觉，比任何高薪都更有吸引力。
