光刻机的生产效率有多高？半导体行业一寸光阴一寸金，芯片转眼间从海鲜价掉到白菜价是常有的事情。所以，光刻机必须24小时连续工作，全年停机时间不超过3%。目前的光刻机一般每小时要出产近300片12英寸（300毫米）晶圆，每片晶圆要做出上千个芯片。这意味着一台光刻机每年要连续加工出数亿个芯片。光刻机的机台运动精度有多高？如今的光刻机每次移动的定位要精确到几十纳米，也就是头发丝直径的几万分之一。如果用两辆同时移动的车进行类比，两车以每小时3万公里的速度并驾齐驱，它们之间的差值必须小于0.5毫米，才能达到与光刻机一样的精度。
