半导体气体从气源到工艺腔室的传输路径较长，任何一段管路或设备的污染都可能影响最终纯度。恒歌 TF 系列工艺气体专用过滤器，通过在关键节点安装，构建了 “多点防护” 的洁净保障体系。
在实际应用中，企业通常会在气源出口、气柜、设备入口等多个节点安装 TF 系列过滤器：气源出口处的过滤器清除气体储存环节可能引入的杂质；气柜中的过滤器进一步净化，应对管路传输中的污染；设备入口的过滤器则作为终端防护，确保进入腔室的气体绝对洁净。这种多层防护模式，将气体污染风险降至最低。
某逻辑芯片厂采用 “三级过滤” 方案后，其工艺腔室内的微粒污染率下降 80%，设备维护周期延长 50%。恒歌 TF 系列的多点适配能力，使其能够融入整个气路系统，成为全链条洁净保障的重要组成部分。
